DLC类金刚石涂层

 

类金刚石涂层与等离子全方位离子沉积技术

 

类金刚石涂层工艺采用等离子全方位离子沉积技术,获得坚硬且光滑的涂层。等离子全方位离子沉积技术属于等离子增强化学气象镀层技术。

 

技术优势

在等离子全方位离子沉积技术处理中,无需转动工件(全方位技术),在大体积、三维工件处理中有很多优势。与传统等离子增强化学气象镀层过程比较,等离子全方位离子沉积技术的主要优势还在于其利用脉冲等离子技术沉积涂层,这个过程允许低温沉积并减小了电弧的产生。

 

   
美国西南研究院类金刚石涂层制备的试验设施

 

技术原理

工件置于真空系统中,抽真空并注入气体,这时,把脉冲电压连续的加在工件上,真空罐中就会产生辉光脉冲放电,产生等离子。脉冲电压吸引等离子体中的离子到工件的表面,根据离子能量(脉冲电压)和离子种类(放电气体),完成离子溅射清洁或类金刚石涂层沉积。通常,先对工件进行溅射清洁,确保涂层有很好的附着力。然后,在不解除真空情况下进行镀膜,得到理想的类金刚石涂层。上图是美国西南研究院类金刚石涂层制备的试验设施。

 

涂层优异性能

–       高硬度(金刚石的20-30%)

–       低摩擦( <0.05 干态)

–       化学惰性

–       可得到极光滑的膜

–       通过界面工程控制,可获得与金属极好的结合力

–       沉积温度低于150摄氏度

–       涂层工作温度可高达400摄氏度